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10 mm x 10 mm 4
H tipo semi-insulativo sic (0001), grau de pesquisa, substrato de cristal de carboneto de silício, produto polido com face Si de face Si (EPI Pronto) SKU#WA0334 Tamanho 10 mm x 10 mm (+/- 1mm ) Espessura 500 UM +/- 25 UM (tipo SI) Orientação do cristal no eixo : +/- 0,5 graus para densidade 4
H-simicropipe (MPD) menor que 15 cm-2
Doping Concentração Si-Type (V-dopada em V) : ~ 5e18/cm3 Resistividade elétrica 4
H-Si> 1
E5 ohm-cm Rioridade da superfície Polonês RA 1 nm (face c, marcada) CMP RA 0,5 nm (face Si) Propriedades da propriedade de materiais de cristal de carboneto de silício 4
H-Si
C single single 6h-sic único Parâmetros de treliça de cristal (Å) A = 3,076 C = 10,053 a = 3,073 C = 15117 Sequência de empilhamento ABCB ABCACB Density 3,21 3,21 Dinuidade MOHS ~ 9.2 Coeficiente de expansão térmica (CTE) (/K) 4-510-6-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-6 4-5-4 6 Índice de refração a 750nm NO = 2,61 NE = 2,66 NO = 2,60 NE = 2,65 constante dielétrica C ~ 9,66 C ~ 9,66 Tipo de doping N tipo N ou semi-insulativo N-Type ou semi-insultação condutividade térmica (W/CM de K/298k ) (N-TYPE, 0,02 ohm-cm) A ~ 4,2 C ~ 3,7 Condutividade térmica (W/cm K @298k) (tipo semi-insulativo) A ~ 4,9 C ~ 3,9 A ~ 4,6 C ~ 3,2 Gap de banda (EV ) 3,23 3,02 Campo elétrico de quebra (v/cm) 3-5 x 106 3-5 x 106 Velocidade de desvio de saturação (m/s) 2,0 x 105 2,0 x 105 wafer e tamanhos de substrato As bolachas : 2, 3, 4, 6 polegada; Substratos menores : 10x10, 20x20 mm, outros tamanhos estão disponíveis e podem ser feitos sob medida, mediante solicitação de graus de produto de grau zero de densidade de micropipe (MPD 1 cm-2) B grau de produção de grau (MPD 5 cm-2) C Grau de pesquisa (grau de pesquisa ( MPD 15 cm-2) D grau de grau de grau (MPD 30 cm-2).
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